Influence of flow regime on the conformality of atomic layer deposition in lateral channels: simulations with a diffusion reaction model

Aktiviteetti: Konferenssiesitelmä

Aikajakso16 maalisk. 2022
Tapahtuman otsikkoAtomic Layer Processing Modelling Workshop
Tapahtuman tyyppiWorkshop
SijaintiLinköping, RuotsiNäytä kartalla
Tunnustuksen arvoInternational