Efficient Surface Passivation of Black Silicon Using Spatial ALD
- Ismo T.S. Heikkinen (Kontribuuttori)
- Repo, P. (Kontribuuttori)
- Vähänissi, V. (Kontribuuttori)
- Toni Pasanen (Kontribuuttori)
- Ville Malinen (Kontribuuttori)
- Emma Salmi (Puhuja)
- Savin, H. (Kontribuuttori)
Aktiviteetti: Konferenssiesitelmä