Doping in silicon affects the blistering of ALD-grown aluminium oxide

Aktiviteetti: Konferenssiesitelmä

Jennifer Ott - Puhuja

Moises Garin - Kontribuuttori

Kawa Rosta - Kontribuuttori

Toni Pasanen - Kontribuuttori

Ville Vähänissi - Kontribuuttori

Hele Savin - Kontribuuttori

26 syyskuuta 2019

Tapahtuma (null)

Teoksen nimiConference on Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology
Lyhenne Teoksen nimiGADEST
Ajanjakso22/09/201927/09/2019
Verkko-osoite (URL)
SijaintiSeehotel Zeuthen
KaupunkiZeuthen
MaaSaksa
Tunnustuksen arvo

ID: 37160781