Doping in silicon affects the blistering of ALD-grown aluminium oxide

  • Jennifer Ott (Puhuja)
  • Moises Garin (Kontribuuttori)
  • Kawa Rosta (Kontribuuttori)
  • Toni Pasanen (Kontribuuttori)
  • Vähänissi, V. (Kontribuuttori)
  • Savin, H. (Kontribuuttori)

Aktiviteetti: Konferenssiesitelmä

Aikajakso26 syysk. 2019
Tapahtuman otsikkoConference on Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology
Tapahtuman tyyppiConference
Konferenssinumero18
SijaintiZeuthen, SaksaNäytä kartalla
Tunnustuksen arvoInternational