Doping in silicon affects the blistering of ALD-grown aluminium oxide

Ott, J. (Puhuja), Moises Garin (Kontribuuttori), Kawa Rosta (Kontribuuttori), Pasanen, T. (Kontribuuttori), Vähänissi, V. (Kontribuuttori), Savin, H. (Kontribuuttori)

Aktiviteetti: Konferenssiesitelmä

Aikajakso26 syyskuuta 2019
Tapahtuman otsikkoConference on Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology
Tapahtuman tyyppiConference
Konferenssinumero18
SijaintiZeuthen, Saksa
Tunnustuksen arvoInternational