Dissociation and formation kinetics of iron-boron pairs in silicon after phosphorus implantation gettering

Aktiviteetti: Konferenssiesitelmä

Nabil Khelifati - Kontribuuttori

Hannu Laine - Kontribuuttori

Ville Vähänissi - Kontribuuttori

Hele Savin - Kontribuuttori

Fatima Zohra Bouamama - Kontribuuttori

Djoudi Bouhafs - Kontribuuttori

22 syyskuuta 201927 syyskuuta 2019

Tapahtuma (null)

Teoksen nimiConference on Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology
Lyhenne Teoksen nimiGADEST
Ajanjakso22/09/201927/09/2019
Verkko-osoite (URL)
SijaintiSeehotel Zeuthen
KaupunkiZeuthen
MaaSaksa
Tunnustuksen arvo

Organisaatiot

ID: 37158609