Controlling charge polarity and defect density at Ge/Al2O3 interface using SiNx interlayer

Aktiviteetti: Konferenssiesitelmä

Aikajakso13 syysk. 2022
Tapahtuman otsikkoConference on Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology
Tapahtuman tyyppiConference
SijaintiMondsee, ItävaltaNäytä kartalla