Conformality characterization of Al-doped ZnO films grown by atomic layer deposition on lateral high-aspect-ratio test structures

Aktiviteetti: Konferenssiesitelmä

Description

poster presentation
Aikajakso5 elok. 2024
Tapahtuman otsikkoInternational Conference on Atomic Layer Deposition
Tapahtuman tyyppiConference
Konferenssinumero24
SijaintiHelsinki, SuomiNäytä kartalla