Conformality characterization of Al-doped ZnO films grown by atomic layer deposition on lateral high-aspect-ratio test structures
- Eero Haimi (Puhuja)
- Philip, A. (Kontribuuttori)
- Velasco Calsina, J. (Kontribuuttori)
- Karppinen, M. (Kontribuuttori)
- Puurunen, R. (Kontribuuttori)
Aktiviteetti: Konferenssiesitelmä