Conformality analysis of the archetypical Al2O3 ALD process in 3-rd generation silicon based microscopic lateral high aspect ratio test structures

  • Jihong Yim (Puhuja)

Aktiviteetti: Konferenssiesitelmä

Aikajakso15 heinäk. 2019 → 19 heinäk. 2019
Tapahtuman otsikkoEurope-Korea Conference on Science and Technology
Tapahtuman tyyppiConference
SijaintiVienna, ItävaltaNäytä kartalla
Tunnustuksen arvoInternational