Conformality analysis of the archetypical Al2O3 ALD process in 3-rd generation silicon based microscopic lateral high aspect ratio test structures

Yim, J. (Puhuja)

Aktiviteetti: Konferenssiesitelmä

Aikajakso15 heinäkuuta 201919 heinäkuuta 2019
Tapahtuman otsikkoEurope-Korea Conference on Science and Technology
Tapahtuman tyyppiConference
SijaintiVienna, Itävalta
Tunnustuksen arvoInternational