Compatibility of Al-neal in processing of Si devices with Al2O3 layer

Aktiviteetti: Konferenssiesitelmä

Aikajakso11 syysk. 202216 syysk. 2022
Tapahtuman otsikkoConference on Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology
Tapahtuman tyyppiConference
SijaintiMondsee, ItävaltaNäytä kartalla