Characterization of denuded zones in internally gettered silicon wafers by electron beam induced current measurements
- Antti Haarahiltunen (Puhuja)
- Savin, H. (Kontribuuttori)
- Yli-Koski, M. (Kontribuuttori)
- Juha Sinkkonen (Kontribuuttori)
Aktiviteetti: Konferenssiesitelmä