Characterization of denuded zones in internally gettered silicon wafers by electron beam induced current measurements

  • Antti Haarahiltunen (Puhuja)
  • Savin, H. (Kontribuuttori)
  • Yli-Koski, M. (Kontribuuttori)
  • Juha Sinkkonen (Kontribuuttori)

Aktiviteetti: Konferenssiesitelmä

Aikajakso2003
Tapahtuman otsikkoInternational Conference on Microscopy of Semiconducting Materials
Tapahtuman tyyppiConference
Konferenssinumero13
SijaintiCambridge, Iso-BritanniaNäytä kartalla
Tunnustuksen arvoInternational