Puolijohdeteollisuus siirtymässä atomikerroskasvauksen käyttöön

Lauri Niinistö

    Research output: Contribution to journalArticleProfessional

    Original languageFinnish
    Pages (from-to)75
    JournalKemia - Kemi
    Volume29
    Issue number8
    Publication statusPublished - 2002
    MoE publication typeD1 Article in a trade journal

    Keywords

    • ALD
    • semiconductor

    Cite this