Overview of early publications on Atomic Layer Deposition

Jaan Aarik, Andrew R. Akbashev, David Cameron, Jeffrey Elam, Simon Elliott, Gloria Gottardi, Kestutis Grigoras, Yury Koshtyal, Marja-Leena Kääriäinen, Tommi Kääriäinen, Anatoly Malkov, Anatoly Malygin, Jyrki Molarius, Juha Nikkola, Henrik Pedersen, Riikka L. Puurunen, Robin H. A. Ras, Fred Roozeboom, Hele Savin, Thomas E. SeidelJonas Sundqvist, J.Ruud van Ommen, Oili M. E. Ylivaara

Research output: Working paperProfessional

Original languageEnglish
Publication statusPublished - 2014
MoE publication typeD4 Published development or research report or study

Cite this

Aarik, J., Akbashev, A. R., Cameron, D., Elam, J., Elliott, S., Gottardi, G., ... Ylivaara, O. M. E. (2014). Overview of early publications on Atomic Layer Deposition.