Menetelmä valoa emittoivien ohutkalvo-EL-komponenttien valmistamiseksi

Gitte Härkönen; Kaupo Kukli; Marja Lahonen; Erja Nykänen; Erkki Soininen; Runar Törnqvist; Kirsi Vasama; Lauri Niinistö

Menetelmä valoa emittoivien ohutkalvo-EL-komponenttien valmistamiseksi

Gitte Härkönen (Inventor), Kaupo Kukli (Inventor), Marja Lahonen (Inventor), Erja Nykänen (Inventor), Erkki Soininen (Inventor), Runar Törnqvist (Inventor), Kirsi Vasama (Inventor), Lauri Niinistö (Inventor)

Research output: Patent

Original language	English
Patent number	Suomalainen patentti No 108356 (15.1.2002)
Publication status	Published - 2002
MoE publication type	H1 Granted patent

Keywords

atomic layer epitaxy (ALE, ALD)
elektroluminescence
thin film

Cite this

@misc{da44e39ad5a74732be0e8f17570a01db,

title = "Menetelm{\"a} valoa emittoivien ohutkalvo-EL-komponenttien valmistamiseksi",

keywords = "atomic layer epitaxy (ALE, ALD), elektroluminescence, thin film, atomic layer epitaxy (ALE, ALD), elektroluminescence, thin film, atomic layer epitaxy (ALE, ALD), elektroluminescence, thin film",

author = "Gitte H{\"a}rk{\"o}nen and Kaupo Kukli and Marja Lahonen and Erja Nyk{\"a}nen and Erkki Soininen and Runar T{\"o}rnqvist and Kirsi Vasama and Lauri Niinist{\"o}",

year = "2002",

language = "English",

type = "Patent",

note = "Suomalainen patentti No 108356 (15.1.2002)",

}

TY - PAT

T1 - Menetelmä valoa emittoivien ohutkalvo-EL-komponenttien valmistamiseksi

AU - Härkönen, Gitte

AU - Kukli, Kaupo

AU - Lahonen, Marja

AU - Nykänen, Erja

AU - Soininen, Erkki

AU - Törnqvist, Runar

AU - Vasama, Kirsi

AU - Niinistö, Lauri

PY - 2002

Y1 - 2002

KW - atomic layer epitaxy (ALE, ALD)

KW - elektroluminescence

KW - thin film

KW - atomic layer epitaxy (ALE, ALD)

KW - elektroluminescence

KW - thin film

KW - atomic layer epitaxy (ALE, ALD)

KW - elektroluminescence

KW - thin film

M3 - Patent

M1 - Suomalainen patentti No 108356 (15.1.2002)

ER -