Menetelmä liiallisen kantoaineen indusoiman degradaation vähentämiseksi piisubstraatissa sekä piisubstraattirakenne ja laite, jotka käsittävät piisubstraatin

Hele Savin

Menetelmä liiallisen kantoaineen indusoiman degradaation vähentämiseksi piisubstraatissa sekä piisubstraattirakenne ja laite, jotka käsittävät piisubstraatin

Research output: Patent

Original language	English
Patent number	FI126401
Publication status	Published - 15 Nov 2016
MoE publication type	H1 Granted patent

Cite this

@misc{57940fc2709c43a5b364d6d509f43837,

title = "Menetelm{\"a} liiallisen kantoaineen indusoiman degradaation v{\"a}hent{\"a}miseksi piisubstraatissa sek{\"a} piisubstraattirakenne ja laite, jotka k{\"a}sitt{\"a}v{\"a}t piisubstraatin",

author = "Hele Savin",

year = "2016",

month = nov,

day = "15",

language = "English",

type = "Patent",

note = "FI126401",

}