Huokoinen pii kaasu- ja kosteusanturimateriaalina

L. Niinistö

    Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceedingChapterProfessional

    Original languageFinnish
    Title of host publicationElektroniikan materiaalit ja mikrosysteemit-tutkimusohjelma
    Pages18-21
    Edition1
    Publication statusPublished - 2000
    MoE publication typeD2 Article in professional manuals or guides or professional information systems or text book material

    Keywords

    • atomic layer epitaxy
    • gas sensor
    • humidity sensor
    • porous silicon

    Cite this