Growth of oxide thin films by atomic layer epitaxy

H. Mölsä, M. Nieminen, H. Viirola, L. Niinistö

    Research output: Working paperProfessional

    Original languageEnglish
    Place of PublicationTurku
    Pages80-81
    Publication statusPublished - 1994
    MoE publication typeD4 Published development or research report or study

    Publication series

    Name8. Kansallinen epäorgaanisen ja analyyttisen kemian symposium, Tiivistelmät ja ohjelmat, Turku, 20.5.1994
    PublisherTurun yliopisto, kemian osasto

    Keywords

    • atomic layer epitaxy (ALE)
    • oxide
    • thin films

    Cite this