Deposition of Ca and Eu phosphate thin films by the atomic layer epitaxy

P. Soininen, L. Niinistö, E. Nykänen, M. Leskelä

    Research output: Working paperProfessional

    Original languageEnglish
    Place of PublicationTurku
    Pages108-109
    Publication statusPublished - 1994
    MoE publication typeD4 Published development or research report or study

    Publication series

    Name8. Kansallinen epäorgaanisen ja analyyttisen kemian symposium, Tiivistelmät ja ohjelma, Turku, 20.5.1994
    PublisherTurun yliopisto, kemian osasto

    Keywords

    • atomic layer epitaxy (ALE)
    • calcium phosphate
    • europium phosphate
    • thin films

    Cite this

    Soininen, P., Niinistö, L., Nykänen, E., & Leskelä, M. (1994). Deposition of Ca and Eu phosphate thin films by the atomic layer epitaxy. (pp. 108-109). (8. Kansallinen epäorgaanisen ja analyyttisen kemian symposium, Tiivistelmät ja ohjelma, Turku, 20.5.1994).