New chemistries for resource efficient semiconductor manufacturing

Yhteistyöhankkeen tavoitteena on tutkia puolijohdeteollisuuden valmistusketjujen tarpeisiin uusia kemikaaleja ja prosesseja, jotka lisäisivät puolijohdeteollisuuden resurssitehokkuutta ja kestävyyttä. Projektissa kehitetään uusia lähtöaineita atomikerroskasvatusta (ALD) (tai kemiallista kaasufaasikasvatusta, CVD) varten, uusia ALD-prosesseja, uusia ALD-prosessien mallinnusmenetelmiä ja optimoidaan ALD-prosessien tehokkuutta kestävää teollista käyttöä ajatellen. Projektissa keskitytään myös uusien metallilähtöaineiden tutkimiseen eri sovelluksia silmällä pitäen ja uusien ympäristöystävällisempien materiaalien ja prosessien hyödyntämiseen eri yhteyksissä, niin että ympäristöön kohdistuvaa kuormitusta voidaan vähentää.